Modhanna traidisiúnta chun scannáin ocsaíde alúmanaim a ullmhú agus a ndúshláin

I réimse na heolaíochta ábhar, Scannáin Ocsaíd Alúmanaim Tá aird fhorleathan tarraingthe orthu mar gheall ar a n -airíonna fisiceacha agus ceimiceacha. Ina measc, is modhanna traidisiúnta iad sil -leagan gaile fisiciúil agus sil -leagan gaile ceimiceach chun scannáin ocsaíd alúmanaim a ullmhú. Tá buntáistí uathúla ag gach ceann acu, ach tá roinnt dúshlán rompu freisin.

Is éard is sil-leagan gaile fisiciúil (PVD) ann ná teicneolaíocht a thaisceann ábhar ocsaíd alúmanaim i gcéim gaile ar dhromchla foshraithe chun scannán tanaí a dhéanamh trí ghalú nó sputtering ardteochta. Is é an buntáiste is mó a bhaineann leis an modh seo ná an cumas scannáin ocsaíd alúmanaim ardcháilíochta ardchaighdeáin a tháirgeadh. I dtimpeallacht ardteochta, déantar an t-ábhar ocsaíd alúmanaim a ghalú nó a sputtered isteach i stát gásach, agus ansin fuaraíonn agus comhdhlúthaíonn sé ar dhromchla an tsubstráit chun scannán dlúth a dhéanamh. Mar sin féin, tá roinnt easnaimh ag an modh PVD freisin. Ar an gcéad dul síos, tá an trealamh casta agus teastaíonn timpeallacht ardteochta agus folúis uaidh, rud a fhágann go bhfuil costas an ullmhúcháin sách ard. Ar an dara dul síos, d'fhéadfadh go mbeadh tionchar ag fachtóirí éagsúla ar an bpróiseas ullmhúcháin, amhail ráta galúcháin, coinníollacha sputtering, teocht an tsubstráit, etc., a d'fhéadfadh tionchar a imirt ar cháilíocht agus ar fheidhmíocht an scannáin.

Is modh é sil -leagan gaile ceimiceach (CVD) chun scannán ocsaíd alúmanaim a fhoirmiú ar dhromchla foshraithe trí imoibriú ceimiceach. Le linn an phróisis CVD, imoibríonn gás réamhtheachtaithe ocsaíd alúmanaim go ceimiceach ar dhromchla an tsubstráit chun ocsaíd alúmanaim a ghiniúint agus é a thaisceadh ar an tsubstráit. Is féidir leis an modh seo scannáin ocsaíd alúmanaim ardchaighdeáin a ullmhú freisin, agus is féidir comhdhéanamh agus struchtúr an scannáin a rialú trí choinníollacha imoibriúcháin agus cineálacha réamhtheachtaithe a choigeartú. Mar sin féin, tá roinnt dúshlán os comhair modhanna CVD freisin. Ar an gcéad dul síos, ní mór an próiseas imoibriúcháin a rialú go beacht, lena n -áirítear teocht imoibriúcháin, brú, sreabhadh gáis agus paraiméadair eile, chun cáilíocht agus feidhmíocht an scannáin a chinntiú. Ar an dara dul síos, tá costas an trealaimh sách ard, a éilíonn imoibreoirí speisialaithe agus córais soláthair gáis.

Cé go bhfuil buntáistí suntasacha ag sil-leagan gaile fisiciúil agus sil-leagan gaile ceimiceach maidir le scannáin ocsaíd alúmanaim a ullmhú, tá an dá mhodh seo faoi réir teorainneacha áirithe i dtáirgeadh mórscála mar gheall ar theorainneacha mar threalamh casta, costas ard, agus bíonn tionchar ag an bpróiseas ullmhúcháin ar an bpróiseas ullmhúcháin. . Dá bhrí sin, in iarratais phraiticiúla, ní mór dúinn fachtóirí éagsúla a bhreithniú go cuimsitheach agus an modh ullmhúcháin is oiriúnaí a roghnú.

Le forbairt leanúnach na heolaíochta agus na teicneolaíochta, tá modhanna agus teicneolaíochtaí nua ullmhúcháin fós ag teacht chun cinn, ag soláthar níos mó féidearthachtaí chun scannáin ocsaíd alúmanaim a ullmhú. Sa todhchaí, is féidir linn a bheith ag súil le teacht chun cinn modhanna ullmhúcháin níos éifeachtaí agus ar chostas íseal chun cur i bhfeidhm agus forbairt scannán ocsaíd alúmanaim i níos mó réimsí.

Is modhanna traidisiúnta iad sil -leagan gaile fisiciúil agus sil -leagan gaile ceimiceach chun scannáin ocsaíd alúmanaim a ullmhú. Cé go bhfuil na buntáistí a bhaineann le íonacht ardchaighdeáin agus ardcháilíochta acu, tá dúshláin ann freisin, mar shampla trealamh casta, costas ard, agus bíonn tionchar ag tosca éagsúla ar an bpróiseas ullmhúcháin. In iarratais phraiticiúla, ní mór dúinn modhanna cuí ullmhúcháin a roghnú de réir riachtanais agus coinníollacha sonracha chun ullmhúchán éifeachtach a bhaint amach agus cur i bhfeidhm forleathan scannán ocsaíd alúmanaim. $ $ $